产品参数:
探针台台体 | •主体材质采用进口航空铝,表面喷砂氧化,具备优质的机械性能 •整机外形尺寸:约580mmL*480mmW*620mmH,重量大约50kg •U型平台镀镍设计,增大了针座的加载空间,且提高了针座平台和针座之间的吸附力 •Chuck X/Y轴丝杆采用双螺母防回程差设计,带防尘盖以保护丝杆持久顺畅。 •Chuck行程:4英寸*4英寸,精度10um •Chuck大小:4英寸,中心吸附孔和多圈吸附环固定样品,均独立控制 •Chuck可以上下快速升降5mm,便于样品快速分离探针。chuck微调升降,行程6mm,精度1微米,方便使用探针卡时扎针。(大波轮+摇杆设计) •Chuck镀金,具备更小的接触电阻 •卡盘的旋转角度:360度,调节精度0.1°(带刻度尺和角度锁死装置) •卡盘电学独立悬空,带两个4mm香蕉头插口,成180度对角设计,可以作为背电极方便测试垂直器件 •高刚性龙门架结构,便于显微镜的移动,行程2英寸*2英寸,精度1um,带显示器支架 •显微镜气动升降50.8mm,便于更换物镜(需要压缩空气)/显微镜快速倾仰,便于更换物镜,带重力自动锁定功能(匹配金相显微镜时使用) •带接地端子,可有效防止静电对测试的影响 •台体底板带高性能防震海绵,可一定程度减小外界震动对测试的干扰 •探针台与显示器一体化设计,大大减小了设备的占地空间 •整机人体工程学设计,操作简单,使用便捷 |
显微镜 | •Motic高解析度长工作距离显微镜,可加载激光 •变焦 1X~2X •目镜: 10X,•双目距调节范围52-75mm •物镜:5X (WD:34mm,NA:0.14),10 X (WD :33.5mm,NA:0.28),20 X (WD :20mm,NA:0.42) •显微镜光学放大倍数=目镜*物镜*变焦倍率,倍率范围:50X~400X(更换其它物镜可使倍率范围更广) •CCD接口,CCD接口形式为C Mount形式 •手动物镜切换鼻轮(四孔) •显微镜调焦机构:Z 轴移动行程 50.8 mm,同轴旋钮调节,细调精度优于1微米 •150W独立照明光源,亮度可以无极调节。 •防静电功能:架台,变倍镜筒,10X目镜,辅助物镜等都具有防静电功能,这个功能在观察需要防静电的样品时(如半导体芯片等)很有用(若使用此功能时,可通过架台后面的地线插口将显微镜接地) •密封功能:变倍镜筒,10X目镜都具有密封功能,当显微镜在油汽,水汽等湿度较高的环境中仍能较方便的使用 •创建性人机学设计,更加保证操作者长时间舒适操作具有高清晰度,大视场,长工作距离等特点,广泛应用与教学示范,生物工程,IT产业检测等领域 |
CCD成像系统 | •双输出,可同时支持HDMI接口和USB接口 •200万像素高清CCD成像系统 •内置芯片:Sony IMX385(C) 1/2"(7.2x4.05) •分辨率达:1920*1080 •FPS/分辨率:60@1920*1080(HDMI) •FPS/分辨率:50@1920*1080(USB) •可拍照,录像,测量等 •带HDMI视频线缆,带显示器 •三孔电源线,可有效接地,减小静电对测试的影响 |
探针座 | •主体材质采用进口航空铝,表面喷砂氧化,具备优质的机械性能 •采用进口交叉滚珠导轨,高刚性结构,弹簧消隙 •采用进口高分辨率微分头驱动,100 牙/英寸 •X/Y/Z轴行程:12.5mm,精度:0.7μm •底部可调磁性底座,磁性吸附可达10Kg以上,保证扎针的稳定性 •带接地端子,可有效防止静电对测试的影响 •带线夹固定块,便于固定三同轴线缆,防止抖动 •可选配升级真空吸附 |
探针座 | •主体材质采用进口航空铝,表面喷砂氧化,具备优质的机械性能 •采用进口交叉滚珠导轨,高刚性结构,弹簧消隙 •采用进口高分辨率微分头驱动,100 牙/英寸 •X/Y/Z轴行程:12.5mm,精度:0.7μm •底部可调磁性底座,磁性吸附可达10Kg以上,保证扎针的稳定性 •带接地端子,可有效防止静电对测试的影响 •带线夹固定块,便于固定三同轴线缆,防止抖动 •可选配升级真空吸附 |
三轴接口管状夹具 | • 三轴接口管状夹具 •配合屏蔽箱漏电精度能达 100FA •三轴设计,带Force,Guard和Ground •采用Trompeter 高屏蔽三同轴电缆 TRC-50-1 •线长2.0米,带叁轴公接口 •带4mm倾仰机构,调节点测角度:0-30° |
探针 | •2微米针尖直径的探针,5PC/BOX |
真空泵 | •静音无油真空泵 7 升/分钟 •到达真空度:-33.3kPa( -250mmHg) •用于吸附样品 |
运保费 | 运费+保险 |
安装调试 | 原厂售后工程师现场安装调试与培训,质保18个月。 |
产品结构: